多选 半导体芯片制造工2026-06-20 更新 1 阅读

按蒸发源加热方法的不同,真空蒸发工艺可分为:()蒸发、()蒸发、离子束蒸发等。

  1. 电阻加热 正确答案
  2. 电子束 正确答案
  3. 蒸气原子
参考答案:A、B

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