短答题 半导体芯片制造工2026-06-29 更新 1 阅读

叙述H2还原SiCl4外延的原理,写出化学方程式。

参考答案
在气相外延生长过程中,首先是反应剂输运到衬底表面;接着是它在衬底便面发生反应释放出硅原子,硅原子按衬底晶向成核,长大成为单晶层。化学方程式如下: qid_2413491_0.png

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