短答题 真空镀膜操作工2026-06-29 更新 0 阅读

离子源使用结束后,机器会自动充入氩气对其冷却,冷却的目的是什么?

参考答案
主要目的是快速冷却,由于氩气是不活泼性气体,很难与离子源部件发生氧化。

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